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產品名稱： 等離子清洗機

描述：雅馬拓YSP63FA等離子清洗機：可進行樣品傳輸系統定制?？赏ㄟ^網絡進行遠程操作。

更新時間：2024-06-15
產品型號：YSP63FA
產品廠地：上海市
訪問次數：1487

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產品介紹

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品特點：
可進行樣品傳輸系統定制。
操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
軟性基板也可以進行傳送操作。
傳送速度可在Hi-Low間調節。
可通過網絡進行遠程操作（選購品）。
提高各種材料的粘接性、表面改質處理
清洗各類基板。
電子部品、材料表面改質。
更容易嵌入生產線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產品參數：

型號	YSP63FA
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W
反應臺尺寸	W385×D362mm
內腔尺寸	W395×D378×H45mm（內尺寸）
反應氣體	2進氣系統（氧氣、氬氣）
反應氣體流量控制	質量流量控制器
真空泵	旋轉式真空泵（約500L/min）
氣體導入口	反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
外形尺寸	W1860×D1100×H1800mm

其它同類產品如下：
雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器：
產品特點：
樣品傳輸系統為模塊式，便于組合。
體積小，節省空間。
選用小型腔體，反應效率高。
更容易嵌入生產線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
配備冷卻反應臺。

技術參數：

型號	YSP600U	YSP2KU
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W	2000W
反應臺尺寸	W300×D300mm	W600×D600mm
反應氣體	2進氣系統（氧氣、氬氣）
反應氣體流量控制	質量流量控制器
氣體導入口	反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

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